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位移傳感器用于精密減振平臺設計
振動(dòng)控制是振動(dòng)工程領(lǐng)域內的一個(gè)重要分支。抑制振動(dòng)的方法主要有：消振、隔振、吸振、阻振或者改變系統結構。消振和改變系統結構在很多情況下無(wú)法辦到，常用的振動(dòng)控制方法是隔振、吸振、阻振。為了保證光學(xué)精密儀器工作基礎的穩定性，需要減小或者消除振動(dòng)對設備的影響。
精密減振平臺以高精度位移傳感器為測量單元，通過(guò)位移傳感器測量減振平臺支撐彈簧的長(cháng)度變化，然后把輸出的模擬信號轉換為數字信號，再把數字信號送到DSP進(jìn)行計算，計算結果轉換成電流送給電磁驅動(dòng)器，自動(dòng)調整電磁驅動(dòng)器的電磁力，使光學(xué)精密儀器受力平衡，達到減振的目的。
精密減振平臺為主動(dòng)控制減振設計。整個(gè)平臺可以看做由：傳感單元、控制單元與執行單元組成的閉環(huán)反饋控制系統。傳感單元主要完成振動(dòng)信號的采集，并將采集信號轉換為電信號，輸入控制單元實(shí)時(shí)計算出執行單元的輸出量。位移傳感器對系統低頻振動(dòng)與超低頻振動(dòng)的測量性能優(yōu)于速度傳感器和加速度傳感器，測量精度與環(huán)境適應性較好，可以很好滿(mǎn)足減振平臺的測量需求。
位移傳感器和電磁驅動(dòng)器的聯(lián)合應用，大幅改善了減振平臺的減振效果。由于各級減振系統之間是相互獨立的，更有利于多級減振，只需要考慮振動(dòng)平臺的振幅，不需要考慮被隔振物體的振動(dòng)情況。因為數據采集，傳輸，運算，再到電磁驅動(dòng)器電流調整，設計中的延時(shí)可造成電磁力的大小與彈簧的彈力變化并不相等，因此精密減振平臺只能使振動(dòng)衰減，并不能達到消振的效果。
隨著(zhù)傳感器技術(shù)與測控技術(shù)的飛速發(fā)展，各種新型傳感器、微型傳感器快速投入市場(chǎng)，并大量應用于各類(lèi)測控系統。高精度位移傳感器的應用更是提升了減振平臺的減振性能，使其逐漸具備更好的應用價(jià)值和市場(chǎng)前景。
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